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J-GLOBAL ID：201702272658893161   整理番号：17A0381643

センシング層としてのグラフェン酸化物を用いたAlN2次元音響波湿度センサ【Powered by NICT】

An ALN two-dimensional acoustic wave humidity sensor with graphene oxide as sensing layer

著者 (2件)： Le Xianhao (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China) ,  Xie Jin (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 1060-1063  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,まずセンシング層としてのグラフェン酸化物(GO)をもつAlN薄膜二次元音響波湿度センサを報告した。小さな検出面積を用いたセンサは,10%から90%RHまでの広い検出範囲を有する218.6kHz/10%までRH高感度を示した。センサは再現性と安定性の点で優れた性能を示した。センサのヒステリシス,速い応答と短い回復時間を得た。センサのTCFは約 15.8ppm/°Cであり,通常の湿度センサよりもはるかに小さかった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： ヒステリシス ,  *窒化アルミニウム ,  薄膜 ,  高感度 ,  *音波 ,  二次元 ,  再現性 ,  *湿度センサ ,  *センサ
準シソーラス用語： 回復時間 ,  センシング・カバレッジ ,  *酸化グラフェン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  湿度測定,湿度計  (AD06020V)

タイトルに関連する用語 (4件)： センシング ,  グラフェン酸化物 ,  音響波 ,  湿度センサ