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J-GLOBAL ID：201702272741151670   整理番号：17A0214241

自己加熱ナノスケール素子の局所温度測定【Powered by NICT】

Local thermometry of self-heated nanoscale devices

著者 (8件)： Menges F. (IBM Research - Zurich, Switzerland) ,  Motzfeld F. (IBM Research - Zurich, Switzerland) ,  Schmid H. (IBM Research - Zurich, Switzerland) ,  Mensch P. (IBM Research - Zurich, Switzerland) ,  Dittberner M. (IBM Research - Zurich, Switzerland) ,  Karg S. (IBM Research - Zurich, Switzerland) ,  Riel H. (IBM Research - Zurich, Switzerland) ,  Gotsmann B. (IBM Research - Zurich, Switzerland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： IEDM  ページ： 15.8.1-15.8.4  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： わずか数ナノメートルの大きさのホットスポットは,多くのナノエレクトロニクス素子を形成する。空間分解能における最近の進歩に基づいて,これらのホットスポットは,走査型熱顕微鏡(SThM)を用いて調べることができる。ここでは,他の確立された温度測定技術と比較してナノスケール温度測定のためのSThMを論じた。論理,および相変化メモリデバイスのための半導体チャネルのその場測定を用いて,今日の測定能力を実証した。温度場のみならず無傷装置におけるエネルギー散逸を特性化,デバイス故障と製作問題を同定するために役立つことができる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 温度場 ,  半導体 ,  エネルギー散逸 ,  空間分解能 ,  チャネル ,  *温度測定 ,  キャラクタリゼーション ,  ホットスポット ,  故障
準シソーラス用語： 現場測定 ,  相変化メモリ ,  走査型熱顕微鏡 ,  ナノエレクトロニクス ,  *ナノスケール ,  *自己加熱 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (3件)： 自己加熱 ,  ナノスケール ,  温度測定