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J-GLOBAL ID:201702273721991988   整理番号:17A0473299

棒の習慣直径より大きい孔径を用いたフォトレジストの形状に適合する統合するZnOロッド配列の成長と物理的性質【Powered by NICT】

Growth and physical properties of ZnO rod arrays that integrally match the geometries of photoresists with hole sizes larger than rods’ habit diameters
著者 (6件):
資料名:
巻: 704  ページ: 131-140  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0083A  ISSN: 0925-8388  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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ボトムアップとトップダウン法は,オプトエレクトロニクスに使用するための適切に設計された二次元ロッドアレイを作成するために組み合わせることができる。この目的のために,ボトムアップ材料成長はトップダウン表面パターン化の厳密な入力に従うべきである,例えば,成長形態はパターン形成の形状に一致統合すべきである。適量のクエン酸ナトリウムとポリエチレンイミンの反復使用により,各ロッドは表面における制限ホールと一致一体,ZnOロッドアレイは,制限正孔の直径はZnOロッドの元の習慣直径よりはるかに大きいときでさえ形成された。ZnOロッドの直径と長さは,フォトレジスト穴の直径,溶液中の前駆体の濃度,および反応時間を調整することによって変化させた。この方法は,ZnOロッドの成長を整合させるマイクロメータスケールに一体の直径に拡張することに成功した。制限直径,補助剤の濃度,およびZnOロッドの成長を整合させる統合に及ぼす種子の結晶化度の影響を検討した。異なる環境で生成されたZnOロッドの光ルミネセンススペクトルと結晶度を特性化し,小さいフォトレジスト開口は,結晶化品質を改善することを明らかにした。異なる成長時間と補助濃度をもつZnOロッドの光ルミネセンススペクトルも調べた。繊維状ZnO/Cu_二零ヘテロ構造は,ZnOロッドの成長により合成することに成功した。ZnO/Cu_二零およびZnO rods/Siヘテロ接合の電気的性質を調べ,ZnOロッドの結晶度を用いて,種々の合成条件に依存して変化することが示された。フォトレジストパターンを用いたZnOの完全整合成長のためのこの方法は,ZnOチューブとリング,単一制限正孔にマッチ個別に一般化した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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無機化合物のルミネセンス  ,  光化学一般 

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