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J-GLOBAL ID：201702273874793234   整理番号：17A0101558

本論文では,リソグラフィーのためのリソグラフィーの設計と性能試験を行った。【JST・京大機械翻訳】

Design and Performance Testing of Constant-Temperature Water Jacket Small-Scale Model of Lithographic Projection Lens

著者 (3件)： Peng Haifeng (Precision Optic Engineering Center,State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences) ,  Yu Xinfeng (Precision Optic Engineering Center,State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences) ,  Qin Shuo (Department of Aviation Theory,Aviation University of Air Force)
資料名： Jiguang Yu Dianzixue Jinzhan  (Jiguang Yu Dianzixue Jinzhan)
巻： 53  号： 8  ページ： 081201-1-081201-6  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2698A  ISSN： 1006-4125  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 温は,対物レンズの作業環境温度制御システムの重要な構成要素である。温のキーパラメータと性能を研究するために,小規模なジャケットモデルを設計した。定常温度制御システムは,±0.001°Cの脱イオン水を提供し,そして,3つの鏡光机システムの温度変化および熱像差の変化を比較することによって,小規模なジャケットの鍵となるパラメータを得た。実験データにより、熱を添加し、環境温度が22.06~22.16°Cの場合、三システムの内壁温度は(22±0.01)°C以内に制御され、波収差は熱後に急速に10.12NMに回復し、アラインメント終了状態とほぼ一致することが分かった。これらの結果は,この種類のジャケット構造が,対物レンズの温度制御の要求を満たすことができ,それに基づいて,等価の一定の水ジャケットモデルを設計することができることを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アラインメント ,  温度制御 ,  *性能試験 ,  小規模 ,  収差 ,  対物レンズ ,  脱イオン水 ,  高速度 ,  作業環境 ,  温度変動 ,  *リソグラフィー
準シソーラス用語： 環境温度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： measurement ,  projection lens ,  constant-temperature water jacket ,  thermal aberration ,  temperature testing

分類 (1件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 論文 ,  リソグラフィー ,  設計 ,  性能試験