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J-GLOBAL ID：201702274295519984   整理番号：17A0173659

モザイク技術のシンクロトロン放射分野における発展の現状と傾向【JST・京大機械翻訳】

Current status and trends of stitching interferometry in synchrotron radiation field

著者 (4件)： Liu Dingxiao (Laboratory of X-ray Optics and Technologies,Beijing Synchrotron Radiation Facility, Institute of High Energy Physics,Chinese Academy of Sciences) ,  Sheng Weifan (Laboratory of X-ray Optics and Technologies,Beijing Synchrotron Radiation Facility, Institute of High Energy Physics,Chinese Academy of Sciences) ,  Wang Qiushi (Laboratory of X-ray Optics and Technologies,Beijing Synchrotron Radiation Facility, Institute of High Energy Physics,Chinese Academy of Sciences) ,  Li Ming (Laboratory of X-ray Optics and Technologies,Beijing Synchrotron Radiation Facility, Institute of High Energy Physics,Chinese Academy of Sciences)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 24  号： 10  ページ： 2357-2369  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： シンクロトロン放射領域の光学部品の口径が次第に増大し、その表面測定精度の要求が納弧度級の問題に達しているため、本論文では、この領域の先進的な表面測定方法であるモザイク干渉技術を研究し、光学素子の高分解能二次元測定を実現した。本論文では,モザイク干渉計の基本原理を紹介し,現在のシンクロトロン放射光学分野における一般的な表面測定装置であるレーザビーム長距離測定器,高精度自己コリメーション測定器,および干渉計の開発過程と特性を要約し,それらの欠点と利点を比較した。最後に,モザイク干渉の主な誤差源を分析し,この技術の応用と発展傾向は主にモザイクアルゴリズムの革新,干渉計測定の高速化,干渉計の商業化,および干渉技術と他の科学技術の融合などであることを指摘した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 二次元 ,  *シンクロトロン放射 ,  距離計 ,  干渉 ,  高速化 ,  干渉計 ,  コリメーション ,  商業化 ,  測定精度 ,  高分解能 ,  *モザイク性 ,  科学技術 ,  レーザビーム
準シソーラス用語： 高精度 ,  光学部品 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： optical element ,  surface figure test ,  stitching interferometry ,  synchrotron radiation ,  overview

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (5件)： モザイク ,  シンクロトロン放射 ,  発展 ,  現状 ,  傾向