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J-GLOBAL ID：201702275130480647   整理番号：17A0733624

大面積球状ダイヤモンド膜の均一堆積研究【JST・京大機械翻訳】

Study on Uniform Deposition of Spherical Diamond Film on a Large Area Substrate

著者 (5件)： XIANG Bing-kun (Nanjing University of Aeronauticsand Astronautics) ,  ZUO Dun-wen (College of Mechanical and Electrical Engineering,Nanjing University of Aeronautics and Astronautics) ,  LI Duo-sheng (College of Mechanical and Electrical Engineering,Nanjing University of Aeronautics and Astronautics) ,  LU Hai-quan (College of Mechanical and Electrical Engineering,Nanjing University of Aeronautics and Astronautics) ,  CHEN Rong-fa (College of Mechanical and Electrical Engineering,Nanjing University of Aeronautics and Astronautics)
資料名： Rengong Jingti Xuebao  (Rengong Jingti Xuebao)
巻： 38  号： 1  ページ： 33-38  発行年： 2009年 
JST資料番号： W0398A  ISSN： 1000-985X  CODEN： RJXUEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 厚さ500ΜM以上のダイヤモンド膜を,DCアークプラズマ溶射装置を用いて,65MMの高さと5MMの高さのMO基板上に堆積した。膜厚さを測定し,膜厚さを測定し,SEMにより膜の表面形態を観察し,膜表面の純度をSEMにより測定し,ダイヤモンド膜の質量均一性を電子顕微鏡と形態学的特性の分析により評価した。結果により、最適化技術条件下で、直流アークプラズマ溶射装置は、球面MO基板上に厚さと質量が比較的均一な均一状の球状ダイヤモンド状厚膜を成長させることができることが分かった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 直流 ,  プラズマ溶射 ,  電子顕微鏡 ,  球面 ,  膜厚 ,  モルフォロジー ,  *ダイヤモンド ,  最適化手法 ,  アーク放電 ,  厚膜 ,  純度
準シソーラス用語： 表面形態 ,  *ダイヤモンド膜 ,  *大面積 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： diamond film ,  DC arc plasma jet ,  uniformity ,  SEM ,  Raman

分類 (4件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 大面積 ,  球状 ,  ダイヤモンド膜 ,  堆積 ,  研究