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J-GLOBAL ID：201702275692961618   整理番号：17A0368505

軸方向応力を受ける自立センシングビームを用いた新しいピエゾ抵抗加速度計の解析と設計【Powered by NICT】

Analysis and design of a novel piezoresistive accelerometer with axially stressed self-supporting sensing beams

著者 (6件)： Xu Yu (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shaanxi, PR China) ,  Zhao Libo (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shaanxi, PR China) ,  Jiang Zhuangde (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shaanxi, PR China) ,  Ding Jianjun (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shaanxi, PR China) ,  Xu Tingzhong (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shaanxi, PR China) ,  Zhao Yulong (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shaanxi, PR China)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 247  ページ： 1-11  発行年： 2016年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい圧電抵抗加速度計は感度,共振周波数と直交軸感度が高い性能を開発した。軸方向応力を受ける自立センシングビームを用いた加速度計チップを本研究で設計し,製作し,試験した。センシングビーム,応力および共振周波数の位置決定のための式を導出し,これらの結果を有限要素法(FEM)シミュレーションにより検証した。作製した加速度計は,静的および動的実験によって特性化した。結果は,測定感度は0.666mV/g/3Vし,共振周波数は17.1kHzであることを示した。一方,提案した加速度計は,低交差軸感度設計に利用できる方法を提供した。文献における他の加速度計と比較して,開発した加速度計は,包括的な性能指数(FOM)に関する優れた性能を示した。結果は加速度計の性能を改善するための新しい構造の実現可能性を実証した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 直交性 ,  キャラクタリゼーション ,  *加速度計 ,  位置決め ,  感度設計 ,  有限要素法 ,  性能指数 ,  共振周波数 ,  シミュレーション ,  *軸方向応力
準シソーラス用語： *圧電抵抗 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 加速度計 ,  軸応力自己支持型センシングビーム ,  Sensitivity ,  共振周波数 ,  交差軸感度 ,  性能の包括的指数

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (8件)： 軸方向応力 ,  自立 ,  センシング ,  ビーム ,  ピエゾ抵抗 ,  加速度計 ,  解析 ,  設計