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J-GLOBAL ID：201702275847291718   整理番号：17A0381606

集積マイクロ蒸発器を用いたパッケージ後のシリコン共振器の周波数トリミング【Powered by NICT】

Frequency trimming of silicon resonators after package with integrated micro-evaporators

著者 (5件)： You Weilong (State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Yang Heng (State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Pei Binbin (State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Sun Ke (State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Li Xinxin (State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 917-919  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,統合マイクロ蒸発器を持つパッケージ後のシリコンバルク音響共振器の共振周波数を削減する新しい方法を初めて提示した。マイクロ蒸発器にはシリコン共振器対面に結合している。トリミング中,アルミニウム最上層を蒸発させる局所的に蒸発器を加熱するために適用した電力。MEMS共振器の共振周波数はAlの蒸着により永久にトリムした。トリミング速度は電力に敏感であり, 0.3ppm/分から 12.2ppm/分に調整できた。法は粗大及び微細トリミングの両方に用いることができる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *周波数 ,  *蒸発器 ,  アルミニウム ,  *トリミング ,  上層 ,  *ケイ素 ,  トリム ,  音響共振器 ,  電力 ,  *共振器 ,  共振周波数
準シソーラス用語： MEMS共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 集積 ,  蒸発器 ,  パッケージ ,  シリコン ,  共振器