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J-GLOBAL ID：201702276355098411   整理番号：17A0730921

垂直共振器における発光レーザの湿式酸化速度法則を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Law of Wet Oxidation Rate in Vertical-Cavity Surface-Emithing Lasers

著者 (7件)： Hou Lifeng (Changchun University of Science and Technology) ,  Zhong Jingchang (Changchun University of Science and Technology) ,  Zhao Yingjie (Changchun University of Science and Technology) ,  Hao Yongqin (Changchun University of Science and Technology) ,  Feng Yuan (Changchun University of Science and Technology) ,  Xie Haorui (Changchun University of Science and Technology) ,  Jiang Xiaoguang (Changchun University of Science and Technology)
資料名： Zhongguo Jiguang  (Zhongguo Jiguang)
巻： 36  号： 4  ページ： 790-793  発行年： 2009年 
JST資料番号： C5022A  ISSN： 0258-7025  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 垂直共振器面発光レーザ(VCSEL)の酸化開口の正確な制御を実現するために,垂直共振器におけるレーザの湿式酸化プロセスの酸化速度法則を実験的に研究した。異なる温度で垂直共振器の発光レーザサンプルを湿式酸化し、酸化後、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて酸化層の異なる酸化深度における酸化層の組成を分析した。結果により、異なる酸化深度の処Yang化の生成物の各元素の成分含有量は異なり、特に酸素含有量の成分含有量の差が大きいことが分かった。酸化の異なる段階における反応タイプと反応生成物を分析し、酸化速度の時間変化の数学モデルを確立し、湿式酸化過程において、酸化速度が時間に従って指数法則に従って変化し、一定の温度で酸化時間が長いほど酸化速度が安定になることを指摘した。酸化温度の適切な低下と酸化時間の延長は酸化プロセスの可制御性と精度を向上させることができる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 酸化層 ,  *湿式酸化 ,  数学モデル ,  開口 ,  *共振器 ,  可制御性 ,  *発光 ,  反応生成物 ,  垂直共振器形面発光レーザ ,  走査電子顕微鏡 ,  *レーザ ,  経時変化 ,  *酸化
準シソーラス用語： 酸素含有量 ,  *酸化速度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： laser technique ,  vertical-cavity surface-emiting lasers ,  wet oxidation ,  scanning electron microscope micro-analysis ,  oxidation rate

分類 (1件)： 半導体レーザ  (BD04070L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 垂直 ,  共振器 ,  レーザ ,  酸化速度 ,  法則 ,  研究