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J-GLOBAL ID:201702276784077275   整理番号:17A0468159

550°CでアニールしたFexPd1-x薄膜の結晶構造と磁気的性質

Crystal structure and magnetic properties of FexPd1-x thin films annealed at 550 °C
著者 (7件):
資料名:
巻: 28  号:ページ: 3616-3620  発行年: 2017年02月 
JST資料番号: W0003A  ISSN: 0957-4522  CODEN: JMTSAS  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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FePt,CoPt,FePdのようなLl0強磁性合金は,記録媒体,スピントロニック素子などへの応用可能性から広く調べられている。厚さ47±2nmの多結晶FexPd1-x(x=37~64at%)薄膜を石英ガラス基板上にdcマグネトロンスパッタリングで作り,550°C3hのアニーリングを施したx≦37at%ではゆがみ構造で軟磁性である。550°Cの熱処理後,Fe43Pd57膜は面心立方晶(fcc)-面心正方晶(fct)の相遷移が始まる。Fe含有量が等原子量に近づくと,Fe51Pd49膜が最適であり,抗磁力(Hc),残留磁化/飽和磁化比(Mc)/(Ms),最大磁気エネルギー積(BHmax)は300Kでそれぞれ3.5kOe,0.94,17.6MGOeに達し,Hcは120Kで4.3kOeに増加した。FePd膜のfcc-fct遷移が550°C以下になり良い磁気特性が達成された。
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固体デバイス材料 
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