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J-GLOBAL ID：201702277835869026   整理番号：17A0748319

スパッタN DLC膜の化学的および形態学的特性に及ぼす高N_2流量比の影響【Powered by NICT】

Impact of high N₂ flow ratio on the chemical and morphological characteristics of sputtered N-DLC films

著者 (4件)： Leal G. (Federal University of Sao Paulo-ICT, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil) ,  Fraga M. A. (Associate Laboratory of Sensors and Materials, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil) ,  Rasia L. A. (Regional University of the Northwest of State of Rio Grande do Sul, Ijui, RS, Brazil) ,  Massi M. (Federal University of Sao Paulo-ICT, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 49  号： 2  ページ： 99-106  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： その優れた特性のために,ダイヤモンド状炭素(DLC)薄膜を,種々の応用のための興味ある材料として認識されている。この理由のため,それらの基本的特性に及ぼす種々の元素の取り込みの影響を多くの研究の焦点となっている。本研究では,窒素組込みDLC膜はCH_4+N_2+Ar混合ガス中の可変N_2ガス流量下で黒鉛ターゲットのDCマグネトロンスパッタリングによりSi(100)基板上に堆積した。N-DLC膜の化学的,構造的および形態学的特性に及ぼす高N_2流量比(2040および60%)の影響を調べた。電界放出銃装備走査型電子顕微鏡(FEG SEM),エネルギー分散型X線分光法(EDS),原子間力顕微鏡(A FM),形状測定,Rutherford後方散乱分光法(RBS)及びRaman分光法(325nmと,514nm励起)を含む各種技法を用いてN-DLC膜の特性を調べることであった。,窒素の取り込みは膜の形態,粗さ,厚さ,構造及び化学結合と相関していた。全体として,得られた結果は,N-DLC膜の基本的な特性であるだけでなく膜中の窒素含有量だけでなく,形成された化学結合のタイプに関連していることを示した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 原子間力顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡 ,  *DLC膜 ,  形状測定 ,  *モルフォロジー ,  Rutherford散乱分光法 ,  化学結合 ,  X線分光法 ,  混合気体 ,  Raman分光法 ,  窒素 ,  電界放出 ,  グラファイト
準シソーラス用語： *流量比 ,  DCマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ダイヤモンド状炭素 ,  マグネトロンスパッタリング ,  窒素取込 ,  化学結合 ,  morphology

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  塩  (CD01050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ ,  DLC膜 ,  化学 ,  形態学 ,  流量比