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J-GLOBAL ID:201702278342772302   整理番号:17A0411183

700nmピッチマクロ多孔質シリコンフォトニック結晶における共鳴モードの研究【Powered by NICT】

Study of resonant modes in a 700nm pitch macroporous silicon photonic crystal
著者 (4件):
資料名:
巻: 80  ページ: 6-10  発行年: 2017年 
JST資料番号: H0184A  ISSN: 1350-4495  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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本研究ではマクロ多孔質シリコン(MP)フォトニック結晶(PC)中に挿入された欠陥により形成されたモードを理論的および実験的に研究した。特に,透過および反射スペクトルは欠陥の長さと幅の変化を分析した。行ったシミュレーションは,共振周波数は長さ調整よりも幅によって作製した試料に対してより容易に調整されることを示した。PCバンドギャップの中心最適共鳴ピークが生じる。欠陥の幾何学的構造の変化は,PCの光学応答の小さな変化をもたらした。共鳴周波数は長さの変化に最も敏感であったが,モード線幅は欠陥幅変化による大きな変化を示した。5.8μmから6.5μmの範囲の光学応答と電気化学的エッチング(EE)法により作製したいくつかのMPSフォトニック結晶。特性評価の結果は,シミュレーションと良く一致した。700nmのピッチを持つ規則化変調細孔から成る作製した試料。これは垂直周期性を減少させるために,4.4μmから4.8μmの範囲で光学応答を持つことを可能にした。我々の知る限りでは,この範囲の波長で動作するモードは3次元MPS構造において今まで報告されていない。実験結果はシミュレーションと一致し,欠陥の長さとバンドギャップ内の動作周波数の間の線形関係を示した。の波長範囲で共鳴ピークを調整する可能性を実証し,中赤外における種々のガスの主要な吸収線を配置した。これは,これらの構造がコンパクトなガスセンサへの応用のための非常に有望なものとしている。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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赤外・遠赤外領域の測光と光検出器 

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