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J-GLOBAL ID:201702278429084392   整理番号:17A0318470

Y_2O_3膜とダイヤモンド基板との間の接着強度に及ぼすダイヤモンド表面化学状態の影響【Powered by NICT】

Influence of diamond surface chemical states on the adhesion strength between Y2O3 film and diamond substrate
著者 (9件):
資料名:
巻: 105  ページ: 81-88  発行年: 2016年 
JST資料番号: A0495B  ISSN: 0264-1275  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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化学酸化ダイヤモンド基板上に堆積したY_2O_3膜は高い接着強さを示し,800°Cでの熱衝撃をうけるダイヤモンド表面の酸素化官能化はO/C原子比の増加が0.04~0.13の湿式化学酸化により達成することに成功した。ダイヤモンド基板の表面エネルギーは35.7mJ/m~2から61.4mJ/m~2へ有意に改善した。ダイヤモンド基板上にY_2O_3膜を堆積後,COY結合が界面で観察された。さらに,COY結合の量は化学吸着された酸素濃度増加と共に著しく増加した。化学酸化ダイヤモンド基板上に堆積したY_2O_3膜の臨界引かき荷重は22.5Nから34.1Nへ,化学的酸化ダイヤモンド基板上に堆積したY_2O_3膜は,過酷な熱変化に耐え,赤外光学性能の劣化を示すことなく大気中高温酸化からダイヤモンド基板を保護することができる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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その他の物理的・機械的性質  ,  金属系複合材料一般 
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