文献

J-GLOBAL ID：201702278434183604   整理番号：17A0279355

爆発ヒューズ応用のための平面交差指形端末(IDT)構造を用いたマイクロプラズマ発生のための改良された設計【Powered by NICT】

Improved design for microplasma generation using planar interdigitated terminal (IDT) structure for explosive fuse applications

著者 (3件)： Dutta Shankar (MEMS Division, Solid State Physics Laboratory, DRDO, Lucknow Road, Timarpur, Delhi, India - 110054) ,  Bhan R.K. (MEMS Division, Solid State Physics Laboratory, DRDO, Lucknow Road, Timarpur, Delhi, India - 110054) ,  Kapoor Udita (Department of Electrical & Instrumentation Engineering, Thapar University, Bhadson Road, Patiala, Punjab, India - 147004)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ISCO  ページ： 398-401  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,平面交差指末端(IDT)構造を用いたマイクロプラズマ発生のためについての改善された設計を検討した。IDT構造は石英ウエハ上に単一マスクプロセスを用いてAu電気めっき(5 μm)により作製した。IDTフィンガーの間の間隙が30μmに保持した。IDT構造は大気条件で570~580Vバイアスでマイクロプラズマ生成を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電気めっき ,  *端末装置 ,  バイアス ,  石英
準シソーラス用語： 大気条件 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (9件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  その他の電子放出  (BM09050Z) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E) ,  移動通信  (ND08030H) ,  プラズマ一般  (BJ02010B) ,  ルミネセンス一般  (BM08091B) ,  比熱・熱伝導一般  (BL05021E) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  歯科材料  (GT06000B)

タイトルに関連する用語 (8件)： 爆発 ,  ヒューズ ,  応用 ,  平面交差 ,  指 ,  IDT ,  プラズマ発生 ,  設計