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J-GLOBAL ID：201702278592756250   整理番号：17A0592854

電子デバイス用フレキシブル基板上の銅回路のレーザ直接描画

Laser Direct Writing of Copper Circuits on Flexible Substrates for Electronic Devices

著者 (5件)： BAI Shi (Beijing Univ. Technol., Beijing, CHN) ,  ZHOU Weiping (Beijing Univ. Technol., Beijing, CHN) ,  HOU Tingxiu (Beijing Univ. Technol., Beijing, CHN) ,  HU Anming (Beijing Univ. Technol., Beijing, CHN) ,  HU Anming (Univ. Tennessee, TN, USA)
資料名： Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web)  (Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web))
巻： 11  号： 3  ページ： 333-336 (WEB ONLY)  発行年： 2016年10月 
JST資料番号： U0377A  ISSN： 1880-0688  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スポーツ,娯楽,ヘルスモニタリングおよび医療的ケアのためのフレキシブル電子デバイスへの関心が高まっている。特に,衣服あるいは人間の皮膚に取り付けられるフレキシブルセンサ(ウェアラブル歪センサまたはロボット制御可能なセンサ)をモーションディテクタとして使用できる可能性がある。銅は他の高価な貴金属の潜在的な代替材料として考えられてきた。レーザ誘起直接還元法および転写印刷により,安価で高感度なデバイスとして,導電性銅回路に基づくマイクロセンサをポリジメチルシロキサンあるいはポリイミド上に作製した。厚み約40μmの電極において,比抵抗240μΩ・cmの銅回路の実現に成功した。著者らは,高感度で機械的ロバスト性を備えたレーザ還元銅回路に基づいた動作検知を実証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 固体素子 ,  *フレキシブル基板 ,  *配線 ,  *レーザリソグラフィー ,  センサ ,  転写印刷 ,  ポリジメチルシロキサン ,  ポリイミド ,  還元 ,  ウェアラブルセンサ ,  マイクロセンサ ,  レーザ誘起 ,  歪センサ ,  モーションセンサ ,  電子素子
準シソーラス用語： モーションディテクタ ,  *レーザ直接描画 ,  電子デバイス ,  *銅配線

分類 (3件)： プリント回路  (NA05040O) ,  反応操作(単位反応)  (XE01040I) ,  計測機器一般  (AD02000X)

引用文献 (18件)：

• M. Amjadi, A. Pichitpajongkit, S. Lee, S. Ryu and I. Park: ACS Nano, 8, (2014) 5154.
• S. Jung, J. H. Kim, J. Kim, S. Choi, J. Lee, I. Park, T. Hyeon and D. Kim: Adv. Mater., 26, (2014) 4825.
• X. Huang, Y. Liu, K. Chen, W. Shin, C. Lu, G. Kong, D. Patnaik, S. Lee, J. F. Cortes and J. A. Rogers: Small, 10, (2014) 3083
• A. Russo, B. Y. Ahn, J. J. Adams, E. B. Duoss, J. T. Bernhard and J. A. Lewis: Adv. Mater., 23, (2011) 3426.
• J. Lee, S. Kim, J. Lee, D. Yang, B. C. Park, S. Ryu and I. Park: Nanoscale, 6, (2014) 11932.

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子デバイス ,  フレキシブル基板 ,  銅 ,  レーザ直接描画