文献

J-GLOBAL ID：201702280480417744   整理番号：17A0021635

圧電マイクロポンプのためのシリコン,PDMS,PGAとPMMAアクチュエータの比較シミュレーション【Powered by NICT】

Comparative simulation of silicon, PDMS, PGA and PMMA actuator for piezoelectric micropump

著者 (5件)： Tariq Nimra (University Lahore, Pakistan) ,  Tayyaba Shahzadi (The University of Lahore, Pakistan) ,  Ashraf Muhammad Waseem (University Lahore, Pakistan) ,  Sarwar Ghulam (University Lahore, Pakistan) ,  Wasim Muhammad Faisal (University Lahore, Pakistan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： ICRAI  ページ： 130-135  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS),小型デバイスの技術は,マイクロ流体分析システムにおいて重要な成分でもあることをマイクロポンプから構成されている。一つが優れているかを決定するために,圧電マイクロポンプのためのケイ素, ポリジメチルシロキサン(PDMS),ポリメタクリル酸メチル(PMMA)とポリグリコール酸(PGA)アクチュエータの数値シミュレーションに焦点を当てた比較研究を行った。本研究の狙いと目的は,圧電マイクロポンプのアクチュエータに付着した膜の良好な材料を選択するための有限要素解析(FEA)とシミュレーション技術の有用性を示すことである。圧電マイクロポンプは,ケイ素,PDMS,PMMAとPGAのような異なる材料で作られたできることを膜に結合した圧電ディスクを有するアクチュエータから構成されている。異なる材料のたわみと応力のようなアクチュエータの挙動を50Hzから150Hzの周波数を変えてから50Vから150Vの電圧を適用することにより解析した。150Vでの最大たわみは67μmであることをPGAに対して見出されたと最小たわみは16μmであることをシリコンの出てくるが,他のPDMSは25.2μmのたわみを有し,PMMAは25.8μmのたわみを持っている。本研究は,圧電マイクロポンプ設計に有用な情報を提供する。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *アクチュエータ ,  *マイクロポンプ ,  シミュレーション ,  電圧 ,  *ケイ素 ,  円板 ,  MEMS ,  *ポリメタクリル酸メチル ,  たわみ ,  *圧電気
準シソーラス用語： シミュレーション技術 ,  有限要素解析 ,  比較研究 ,  数値シミュレーション ,  マイクロ流体 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 音響信号処理  (BB03050C) ,  音声処理  (JE05000E)

タイトルに関連する用語 (8件)： 圧電 ,  マイクロポンプ ,  シリコン ,  PDMS ,  PGA ,  PMMA ,  アクチュエータ ,  シミュレーション