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J-GLOBAL ID：201702283231670689   整理番号：17A0754709

噴霧熱分解蒸着による調製したEGFET CuS薄膜のpH感受性に及ぼす基質タイプの影響【Powered by NICT】

Influences of substrate type on the pH sensitivity of CuS thin films EGFET prepared by spray pyrolysis deposition

著者 (5件)： Sabah Fayroz A. (School of Physics, Universiti Sains Malaysia, 11800 USM, Penang, Malaysia) ,  Sabah Fayroz A. (Department of Electrical Engineering, College of Engineering, Al-Mustansiriya University, Baghdad, Iraq) ,  Ahmed Naser M. (School of Physics, Universiti Sains Malaysia, 11800 USM, Penang, Malaysia) ,  Hassan Z. (Institute of Nano Optoele ctronics Research and Technology (INOR), Universiti Sains Malaysia, 11800 USM, Penang, Malaysia) ,  Abdullah Almessiere Munirah (Physics Department, College of Science, University of Dammam, Saudi Arabia)
資料名： Materials Science in Semiconductor Processing  (Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 63  ページ： 269-278  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1055A  ISSN： 1369-8001  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 硫化銅(CuS)薄膜をCu~2+およびS~IIそれぞれの源としてCuCl_22H_2OとNa_2S_2O_35H_2O前駆体を用いたスプレー熱分解により堆積した,溶媒として脱イオン水であった。三つのタイプの基板は膜堆積に使用した;ガラス,タングステンとSi。堆積した膜の構造特性のX線測定はz軸の方位(001)を持つ単相CuS銅藍相を示した。酸素の存在は,改善されたpHセンシング特性を示唆した。形態学的特徴は,CuS結晶構造の形状とサイズの相違,基質の表面対体積比および表面部位密度に影響を及ぼすを示した。堆積したままの膜は電界効果トランジスタの拡張ゲートとして使用段階2への集合における緩衝液のpH感度を測定した;最適pH感度はCuS/ガラス膜のための23.3mV/pHであった。pH応答遅延を見出すためにヒステリシスはpH7pH4pH7pH10pH7で調製した緩衝液で測定した;最小値はガラス基板のための0.48mVであった。,再現性,安定性及び(CuS)薄膜の信頼性は,測定pH感度に使ったのと同じ装置を用いた変動係数(C.V.)の観点から測定した。0.04%,0.02%と0.38%の再現性値はガラス,タングステンとSiでそれぞれ記録されたが,0.15%,0.15%と0.10%の安定性と信頼性値はガラス基板のpH4,pH7およびpH10で記録した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 堆積 ,  体積率 ,  構造特性 ,  前駆体 ,  再現性 ,  ガラス ,  *基質 ,  信頼性 ,  タングステン ,  硫化銅 ,  脱イオン水 ,  *薄膜 ,  結晶構造 ,  ケイ素
準シソーラス用語： ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： Nanoparticles ,  CuS薄膜 ,  Substrates ,  EGFET ,  pHセンサ ,  ヒステリシス

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 噴霧熱分解 ,  蒸着 ,  調製 ,  薄膜 ,  pH感受性 ,  基質 ,  タイプ