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J-GLOBAL ID:201702283324705439   整理番号:17A0391857

波面面形に基づくフィルタリング計算【JST・京大機械翻訳】

Filter calculation based on wavefront figures
著者 (5件):
資料名:
巻: 24  号: 12  ページ: 3033-3040  発行年: 2016年 
JST資料番号: C2090A  ISSN: 1004-924X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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光学干渉測定の精度を改善するために,干渉縞模様のノイズを除去するためのフィルタリングアルゴリズムを研究した。異なる波面と異なる干渉計のノイズの下での異なるフィルタリング方法のフィルタリング効果を検討した。干渉縞の影響と検出における干渉波の影響を考慮して,ZERNIKEの原理に基づき,焦点ずれ,非点収差,コマ収差,球面差の4つの異なる干渉縞を確立し,フィルタの後の異なるのPV値とGRMS値の差を計算した。結果は以下を示す。同じノイズとフィルタの場合には,焦点ずれ,非点収差,コマ収差,球面差の4つの面の中で,Lv波后球の最大PV値は0.11Λに達し,乗法雑音の下の他の波面の最高PV値0.08Λと比較して,フィルタリング効果は悪かった。フィルタの後の散波面のPVの差は最も小さく、乗法ノイズのメジアンフィルタの情況を除いて、PVの差はすべて0.05Λ以下で、最低は0.01Λに達し、フィルタリング効果は比較的に良い。さらに,彗差波面フィルタは場合よりも優れている。フィルタにおいて,低域フィルタの安定性は高く,PVの差は0.01Λ~0.04Λに制限され,フィルタリング効果は相対的に良好であった。空間フィルタリングの後の波面のPV差は0.09Λに達したが,雑音はより良かった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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干渉測定と干渉計  ,  光の像形成 
タイトルに関連する用語 (3件):
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