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J-GLOBAL ID:201702284047609782   整理番号:17A0730297

ZNOおよびZNO/ZNOヘテロ接合酸化亜鉛薄膜の紫外発光研究【JST・京大機械翻訳】

Ultraviolet emission property of undoped and Ag doped ZnO films
著者 (5件):
資料名:
巻: 39  号:ページ: 365-370  発行年: 2009年 
JST資料番号: C2239A  ISSN: 0253-2778  CODEN: CKHPD7  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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ZNO薄膜を,超音波スプレー熱分解によってSI(100)基板上に調製し,ZNO薄膜のルミネセンス特性に及ぼす基板温度,噴霧速度,および銀ドーピングの影響を研究した。その結果,適切な蒸着温度と噴霧速度を選択することにより,良好な結晶品質,強い紫外発光,高い紫外/可視発光強度比を有するZNO薄膜を調製できることを示した。未ドープサンプルにおいて,500°Cの蒸着温度と0.15ML/分の噴霧速度で調製したZNO薄膜の紫外/可視光ルミネセンス強度は470%に達することができた。低濃度の銀ドーピングはZNOの紫外発光特性を更に向上させ、3%濃度のAGをドープすることでZNOの紫外/可視発光強度比は700.41に達することができる。しかし,高濃度のドーピングは紫外光ルミネセンス強度を低下させた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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酸化物薄膜 
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