文献

J-GLOBAL ID：201702284710862797   整理番号：17A0062065

光共振器を用いた超伝導ナノワイヤ単一光子検出器【Powered by NICT】

Superconducting Nanowire Single Photon Detector with Optical Cavity

著者 (6件)： Liu Jie (Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Department of Microelectronics and Nanoelectronics, Institute of Microelectronics, Tsinghua University) ,  Zhang Liqun (Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Department of Microelectronics and Nanoelectronics, Institute of Microelectronics, Tsinghua University) ,  Jiang Zhennan (Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Department of Microelectronics and Nanoelectronics, Institute of Microelectronics, Tsinghua University) ,  Ahmad Kamal (Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Department of Microelectronics and Nanoelectronics, Institute of Microelectronics, Tsinghua University) ,  Liu Jianshe (Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Department of Microelectronics and Nanoelectronics, Institute of Microelectronics, Tsinghua University) ,  Chen Wei (Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Department of Microelectronics and Nanoelectronics, Institute of Microelectronics, Tsinghua University)
資料名： Chinese Physics Letters  (Chinese Physics Letters)
巻： 33  号： 8  ページ： 088502-1-088502-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W1191A  ISSN： 0256-307X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 検出効率(DE)の増加は超伝導ナノワイヤ単一光子検出器(SNSPD)の開発における緊急の問題である。SNSPDと結合した共振器集積構造を用いてナノワイヤの光吸収を向上させることである。超薄Nb膜をマグネトロンスパッタリング,100nmの曲線とスパッタリングとリフトオフ法により4×4μm 2の正方形面積を持つNb/Al SNSPDを作製するために使われるで調製することに成功した。共振器集積SNSPDの光学的および電気的性能を特性化するために,信頼性のある低温研究システムはHe_3システムに基づいて組み立てた。光結合の必要性を満たすために,コリメータを有する包装構造を行った。DEと暗計数率の両方がI_bと共に増加した。も空洞を有するSNSPDのDEは1550nmの赤外光下で0.7~Kの温度で,任意の共振器構造を持たないシリコン上に製作された直接SNSPDのそれより明らかに高い0.17%までであることが分かった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 検出効率 ,  *超伝導 ,  *共振器 ,  キャラクタリゼーション ,  *ナノワイヤ ,  コリメータ ,  光吸収 ,  信頼性 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *光共振器 ,  低温研究
準シソーラス用語： 暗計数率 ,  光結合 ,  リフトオフ ,  *単一光子検出器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 測光と光検出器一般  (BD07031F) ,  赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光共振器 ,  伝導 ,  ナノワイヤ ,  単一光子検出器