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J-GLOBAL ID：201702285962402977   整理番号：17A0747980

FIBを用いた行列パターン;‘からの箱の考え方【Powered by NICT】

Matrices pattern using FIB; ‘Out-of-the-box’ way of thinking

著者 (3件)： FLEGER Y. (Institute of Nanotechnology and Advanced Materials, Bar-Ilan University, Ramat Gan, Israel) ,  GOTLIB-VAINSHTEIN K. (Institute of Nanotechnology and Advanced Materials, Bar-Ilan University, Ramat Gan, Israel) ,  TALYOSEF Y. (Institute of Nanotechnology and Advanced Materials, Bar-Ilan University, Ramat Gan, Israel)
資料名： Journal of Microscopy  (Journal of Microscopy)
巻： 265  号： 3  ページ： 307-312  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0454B  ISSN： 0022-2720  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集束イオンビーム(FIB)は,潜在的に高分解能パターン形成のためのナノパターン形成とナノ加工における非常に貴重なツールである,Heイオンビーム顕微鏡法に言及した。ここで示した研究は,ビームシフト限界まで,非常に大きい行列を創ることを可能とし,FIBを用いた描画のたのボックス」法を示し,短時間で,他の描画技術により達成できない高精度であった。新しい方法は広い範囲のナノメータ寸法と高分解能の異なる形状を組み合わせることを可能にする。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 顕微鏡観察 ,  集束イオンビーム ,  ナノメータ加工 ,  高分解能 ,  形態 ,  ヘリウム ,  *パターン形成 ,  イオンビーム
準シソーラス用語： ナノメータ ,  高精度 ,  描画 ,  ナノパターニング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： FIB ,  Heイオンビーム顕微鏡法 ,  nanopatterning

分類 (2件)： 生体の顕微鏡観察法  (EA03050C) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： FIB ,  行列 ,  箱