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J-GLOBAL ID:201702287985986990   整理番号:17A0161167

「リサイクル」型カソード陰極板に基づく平面電鋳の厚さ分布均一性の研究【JST・京大機械翻訳】

Research on Distribution Uniformity of Electroformed Metal Layer by Using Hollow Square Cathode-shielding Plate
著者 (5件):
資料名:
巻: 37  号:ページ: 1075-1081  発行年: 2016年 
JST資料番号: C2399A  ISSN: 1000-1093  CODEN: BIXUD9  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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大面積の電気的鋳物の厚さ分布の均一性を改善するために,改良型電鋳プロセス(-)を提案し,そして,円周方向の平面運動を行い,そして,数値解析および実験的研究を行った。研究結果は以下を示す。構造パラメータと位置パラメータは,陰極電流密度分布に大きな影響を及ぼし,電鋳層厚さの分布特性を改善するために,改良型電鋳プロセスを採用することができた。新技術に基づいて,約100MMの厚さの鋳(70MM×70MM)の厚さ差は8%未満であった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 

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