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J-GLOBAL ID：201702289408792921   整理番号：17A0401864

マルチラテラルせん断干渉法のための多方向モアレ縞を用いた位相抽出【Powered by NICT】

Phase extraction using multi-directional moire fringes for multi-lateral shearing interferometry

著者 (4件)： Liu Ke (Key Laboratory of Photoelectron Imaging Technique and System (Ministry of Education of China), School of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China) ,  Ji Zhenbo (Key Laboratory of Photoelectron Imaging Technique and System (Ministry of Education of China), School of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China) ,  Chen Chen (Key Laboratory of Photoelectron Imaging Technique and System (Ministry of Education of China), School of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China) ,  Li Yanqiu (Key Laboratory of Photoelectron Imaging Technique and System (Ministry of Education of China), School of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 90  ページ： 81-90  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マルチラテラルシヤリング干渉計(マルチLSI)では,複数方向での位相差を用いた波面再構成の改善された精度と雑音抵抗の特徴である。多方向位相差は通常高速Fourier変換(FFT)法を用いたマルチLSIの干渉図形から抽出し,その精度は,スペクトル漏れ効果によって制限される。マルチLSIの測定精度を改善するために,モアレ法から開発された相抽出法を提案した。適切に大きいキャリア周波数を用いた仮想格子を用いて,複数方向のそれぞれの所望の位相情報は不必要なサイドローブ間の大きな分離と対応するモアレパターンの低周波領域に調節することができた。このようにして,高いカットオフ周波数をもつ低域通過フィルタは,スペクトル漏れ効果により誘起された不正確さを低減するためにモアレ法に適用することができる。一方,位相シフト法は,計算機仮想格子の位相シフトを導入することに優れた雑音耐性をもつ単一干渉縞パターンから位相情報を抽出するために適用することができる。シミュレーション結果は,スペクトル漏れ効果が存在するとき,提案した方法はより高い精度とFFT法よりも優れたノイズ性能を持つことを示した。提案した方法の精度を実証するために,quadriwave LSIのヌル試験実験を行い,実験結果はquadriwave LSIの測定精度は,位相抽出プロセスで提案した方法とFFT法を置換することによって有意に改善できることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 干渉計 ,  雑音安定度 ,  低域フィルタ ,  測定精度 ,  LSI【IC】 ,  サイドローブ ,  高速Fourier変換 ,  *干渉縞 ,  位相シフト ,  雑音特性 ,  *位相 ,  遮断周波数
準シソーラス用語： 位相情報 ,  Moire法 ,  位相差 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 横方向シヤリング干渉法 ,  フリンジ解析 ,  位相回復 ,  高速Fourier変換 ,  モアレ法

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (5件)： せん断 ,  干渉法 ,  多方向 ,  モアレ縞 ,  位相