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J-GLOBAL ID：201702289705538723   整理番号：17A0407508

NbN/NbB_2多層膜の機械的性質に及ぼす個々の表面と変調構造の有意な影響【Powered by NICT】

Significant impact of individual surface and modulation structure on mechanical properties of NbN/NbB₂ multilayers

著者 (10件)： Liu Na (Energy & Materials Engineering Centre, College of Physics and Materials Science, Tianjin Normal University, Tianjin, 300387, China) ,  Liu Na (Tianjin International Joint Research Centre of Surface Technology for Energy Storage Materials, Tianjin, 300387, China) ,  Dong Lei (Energy & Materials Engineering Centre, College of Physics and Materials Science, Tianjin Normal University, Tianjin, 300387, China) ,  Dong Lei (Tianjin International Joint Research Centre of Surface Technology for Energy Storage Materials, Tianjin, 300387, China) ,  Jin Shangxiao (Energy & Materials Engineering Centre, College of Physics and Materials Science, Tianjin Normal University, Tianjin, 300387, China) ,  Jin Shangxiao (Tianjin International Joint Research Centre of Surface Technology for Energy Storage Materials, Tianjin, 300387, China) ,  Wan Rongxin (Tianjin Institute of Urological Surgery, Tianjin Medical University, Tianjin, 300070, China) ,  Gu Hanqing (Tianjin Institute of Urological Surgery, Tianjin Medical University, Tianjin, 300070, China) ,  Li Dejun (Energy & Materials Engineering Centre, College of Physics and Materials Science, Tianjin Normal University, Tianjin, 300387, China) ,  Li Dejun (Tianjin International Joint Research Centre of Surface Technology for Energy Storage Materials, Tianjin, 300387, China)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 695  ページ： 3225-3232  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なる変調比(t_NbN:t_NbB2)と10nmの一定変調周期でNbN/NbB_2多層膜の制御可能な成長をマグネトロンスパッタリングシステムによって達成された。X線回折(XRD)とX線反射率(XRR),断面透過型電子顕微鏡(TEM)と走査電子顕微鏡(SEM)検査は,NbN及びNbB_2の交互堆積した単分子層では,明らかな多層構造が得られ,回折ピークはNbNの典型的な立方晶構造とNbB_2の六方晶構造に帰属することを示した。立方晶NbNでは,表面エネルギーと歪エネルギーの組み合わせは,多結晶NbN層におけるNbN(111)および(200)集合組織に影響を及ぼした。さらに,多層膜は主にNbB_2(001)の優先成長による超硬効果が現れた。対応する最高の硬度と臨界荷重はt_NbNで,それぞれ36.86GPaと87.93mNに達した:t_NbB2 1:4。NbB_2(001)集合組織の優先成長を第一原理により研究した。NbB_2(001)および(101)表面のCESTEP計算を通して,バルクNbB_2,(001)B表面の主な集合組織が最も安定な表面である。計算結果はNbN/NbB_2多層膜の優先成長の性質,その成長機構の深い理解を提供することを明らかにした。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 表面エネルギー ,  X線回折 ,  硬度 ,  多層構造 ,  マグネトロンスパッタリング ,  歪エネルギー ,  多結晶 ,  走査電子顕微鏡 ,  第一原理 ,  六方晶系 ,  *変調構造 ,  集合組織 ,  単分子層 ,  *多層膜
準シソーラス用語： *NbN , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： NbN/NbBは_2多層膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  第一原理 ,  変調比 ,  成長機構

分類 (1件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (4件)： NbN ,  多層膜 ,  機械的性質 ,  変調構造