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J-GLOBAL ID:201702290107066630   整理番号:17A0401004

非晶質炭素上に成長させたコバルト膜の構造と相変態【Powered by NICT】

Structural and phase transformation of cobalt films grown on amorphous carbon
著者 (7件):
資料名:
巻: 622  ページ: 84-88  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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DCマグネトロンスパッタリングによる非晶質炭素上に成長した超薄コバルト層の構造変化を1.5nmから4.6nmまでのコバルトの厚さの範囲の透過型電子顕微鏡および小角X線回折により詳細に調べた。コバルト層の原子構造は2nm以下の層の厚さ,3nmから3.2nmまで厚さ範囲で1~2nmの面内サイズと結晶相の埋め込み核と非晶質マトリックス,厚さ4nm以上でランダムに配向したHCPコバルト結晶粒をもつ多結晶で非晶質であることを示した。3.2nmから4.6nmのコバルト膜厚の増加は,正常な結晶粒粗大化プロセスにより~70nmまでの面内平均サイズのコバルト結晶粒の成長をもたらした。等方性非晶質状態からのコバルトの原子構造の変遷~2~4nmの厚さ範囲で異方性結晶状態へのコバルトのHCP格子の高い磁気異方性による強磁性ドメイン内の磁化ベクトル方向の劣化を伴っていた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 
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