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J-GLOBAL ID：201702294867667817   整理番号：17A0357293

13NMの狭いバンドギャップを有する多層膜反射鏡を設計した。【JST・京大機械翻訳】

Narrow-band Si/Mo/C multilayer mirrors working at 13 nm

著者 (10件)： Yi Qiang (Institute of Nuclear Physics and Chemistry, CAEP) ,  Huang Qiushi (Key Laboratory of Advanced Micro-Structured Materials MOE, Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University) ,  Wang Xiangmei (Key Laboratory of Advanced Micro-Structured Materials MOE, Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University) ,  Yang Yang (Key Laboratory of Advanced Micro-Structured Materials MOE, Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University) ,  Zhang Zhong (Key Laboratory of Advanced Micro-Structured Materials MOE, Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University) ,  Wang Zhanshan (Key Laboratory of Advanced Micro-Structured Materials MOE, Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University) ,  Xu Rongkun (Institute of Nuclear Physics and Chemistry, CAEP) ,  Peng Taiping (Institute of Nuclear Physics and Chemistry, CAEP) ,  Zhou Hongjun (National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China) ,  Huo Tonglin (National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China)
資料名： Qiangjiguang yu Lizishu  (Qiangjiguang yu Lizishu)
巻： 28  号： 12  ページ： 122002-1-122002-6  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2482A  ISSN： 1001-4322  CODEN： QYLIEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 50~1500EVのエネルギースペクトルを有する多重エネルギー点発光スペクトル測定システムに基づいて,」-ZプラズマのX線源のエネルギースペクトル構造と全エネルギーを得ることができた。装置の条件を考慮すると,13NMでの多層膜は入射角60°で作動する必要がある。通常のMO/SI多層膜は反射率が最も高いが,その帯域幅が大きく,多層の単色の要求を満たすことができない。そのため、MOとCを共に多層膜とする吸収層材料とSIからなる多層膜を提案し、反射率を低下させ、バンド幅を明らかに減少させることができる。マグネトロン多層膜をマグネトロンスパッタリング法により調製し,すれすれ入射X線反射測定により得られた表面多層膜の構造が明確で,シンクロトロン放射条件下で反射率が測定され,反射率が13NMのとき,反射率が56.5%であることを示した。バンド幅は0.49NM(3.7EV)であった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線源 ,  *多層膜 ,  X線反射 ,  帯域幅 ,  マグネトロン ,  *反射鏡 ,  シンクロトロン放射 ,  *多層 ,  計測システム ,  マグネトロンスパッタリング ,  入射角 ,  エネルギー分布 ,  *バンドギャップ ,  すれすれ入射 ,  反射率

著者キーワード (7件)： multilayer ,  Mo/Si ,  Si/Mo/C ,  Z-pinch ,  spectrum diagnostics ,  reflectivity ,  bandwidth

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (3件)： バンドギャップ ,  多層膜反射鏡 ,  設計