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J-GLOBAL ID：201002173676392577   整理番号：10A1218951

MOSコンデンサの電気特性を用いた構造的酸化物厚さの抽出

Extraction of the physical oxide thickness using the electrical characteristics of MOS capacitors

著者 (8件)： EIKYU K ,  TAKASHINO H ,  KIDERA M ,  TERAMOTO A ,  UMEDA H ,  ISHIKAWA K ,  KOTANI N ,  INUISHI M
資料名： 2000 INTERNATIONAL CONFERENCE ON SIMULATION OF SEMICONDUCTOR PROCESSES AND DEVICES
ページ： 257-260  発行年： 2000年 
JST資料番号： I20000064  ISBN： 0-7803-6279-9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： MOSコンデンサ ,  電気特性 ,  酸化物 ,  厚さ