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文献
J-GLOBAL ID:201002202771347945   整理番号:10A0439873

先端製品の開発を支える微細精密加工技術〔研究成果〕マイクロダイヤモンド工具と摩擦力顕微鏡機構を用いた超精密微細加工

著者 (2件):
資料名:
巻: 58  号:ページ: 31-35  発行年: 2010年05月01日 
JST資料番号: F0145A  ISSN: 0451-9396  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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情報機器や医療機器などにおける小型・軽量化,高密度・高機能化の進展に伴い,それを構成する部品も小型化,高密度・超高精度化の方向で開発が進められている。本特集では,これらの部品を支える最新の微細精密加工技術における話題を紹介する。筆者らは,従来から走査型プローブ顕微鏡の一種である摩擦力顕微鏡(FFM)機構によるナノメータ加工に関する研究を行ってきた。新開発の加工用カンチレバーとFFM機構を利用したナノ加工技術について述べ,ナノ加工部に発現するマスキング作用を応用したマスクレスでの三次元微細構造形成法について概説した。
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般 

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