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J-GLOBAL ID：201002217635771021   整理番号：10A0912723

微小変位領域における外乱モデルの構築と外乱フィードフォワード補償による高速・高精度位置決め

Fast and Precise Positionig with Feedfoward Distrubance Compensation in Micro-Scopic Region

著者 (3件)： 前橋亘 (名古屋工大) ,  伊藤和晃 (豊田工高専) ,  岩崎誠 (名古屋工大)
資料名： 電気学会産業計測制御研究会資料  (Papers of Technical Meeting on Industrial Instrumentation and Control and Mechatronics Control, IEE Japan)
巻： IIC-10  号： 160-171  ページ： 13-18  発行年： 2010年08月31日 
JST資料番号： X0577A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,テーブルシステムの高速且つ高精度の位置決めを達成するために,微小変位領域における外乱に対するフィードフォワード補償の方法を示した。微小変位領域においては,非線形摩擦が変位に依存して非線形のスプリング特性を示すので,テーブルの位置決め精度は運動の方向,たとえば,インチング運動および繰返し運動などに従って変化する可能性がある。サーボ帯域幅の拡張は,ロバストな位置決め性能を達成するための解決策の一つでありうるが,その制御安定性は高周波の振動モードのために悪くなる。本稿では,非線形摩擦に対するフィードフォワード補償方法を示した。その外乱モデルを数学的に公式化し,そしてその外乱モデルの出力が運動方向と無関係に非線形摩擦を補償することができる。外乱モデリングおよび補償による提案の位置決め制御の方法を機械スタンドにおける線形テーブルシステムを使って実験によって検証した。

シソーラス用語： 擾乱 ,  モデル ,  変位 ,  *フィードフォワード ,  *テーブル【機械要素】 ,  *位置決め ,  *非線形性 ,  摩擦 ,  微動 ,  往復運動
準シソーラス用語： 位置決め制御 ,  外乱 ,  *外乱モデル ,  *高精度 ,  高速 ,  *非線形 ,  *インチング

分類 (4件)： 運動機構  (QB01080K) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  精密機械一般  (QF01000M) ,  制御応用一般  (IC03010U)

引用文献 (10件)：

• 大前 力, 平井洋武, 涌井伸二:「情報システムにおける制御」, コロナ社 (1999)
• 大塚二郎:「超精密位置決め技術の現状と今後」, 精密工学会誌, Vol.61, No.12, pp. 1645-1649,(1995)
• 山元純文, 岩崎誠, 伊藤和晃, 松井信行:「位置決め性能向上を目指した高精度外乱モデルの構築」, 電気学会論文誌D, Vol.128, No.6, pp. 627-634(2007)
• 岡本, 中山, 佐藤:「トライボロジー入門」, 幸書房, 1990.
• 佐藤隆太:「直動転がり案内における摩擦特性の実験的挙動解析」, 日本機会学会論文集C Vol.73, No.10 pp. 2811-2819(2007)

タイトルに関連する用語 (6件)： 微小変位 ,  外乱 ,  モデル ,  構築 ,  フィードフォワード ,  補償