抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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従来の設計法は,予め見積った機台振動特性の変動範囲内で目標仕様を達成するようパラメータを調整する保守的設計であり,装置性能を十分引き出すのは困難である。機台振動周波数が同定できれば補償は十分可能であることに着目した。遺伝的アルゴリズム(GA)を使って,多数のストロークや様々な機台振動特性条件下に対し,最適な補償パラメータテーブル(位置指令や制振ノッチフィルタパラメータ)を予め作成する。実際の位置決め動作応答より適応同定器を使って機台振動特性同定を行い,予め用意してあるテーブルより補償パラメータを選択する。リニアモータ駆動テーブル位置決め装置を使ったシミュレーション及び実機実験により,その有効性を示した。