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J-GLOBAL ID：201002257254575147   整理番号：10A0018423

マイクロ・ナノ構造創成技術の開発とMEMSデバイスへの応用

著者 (1件)： 柴田隆行 (豊橋技科大)
資料名： 新東技報  (Sinto Technical Report)
号： 27  ページ： 73-79  発行年： 2009年12月 
JST資料番号： L3037A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMSは,半導体製造技術を用いて微小な機械要素と電気・電子回路を集積化したデバイスあるいはシステムと定義される。その応用は,自動車,情報通信,医療・バイオ,環境・エネルギー等多岐に亘り,今後の発展性が期待される。著者等はこれまで,マイクロ・ナノ構造創成技術の基礎研究および応用研究を行ってきたが,本報告はこれまでの取り組みと研究成果について,次の内容を説明した。1)マイクロ・ナノ構造創成技術,2)ナノ計測一体型超微細加工システム,3)細胞穿刺用マイクロニードル,4)細胞操作用マイクロマニピュレータ,5)医療診断用マイクロデバイス,6)MEMSセンサ・アクチュエータ。

シソーラス用語： *MEMS ,  *ナノ構造 ,  微細構造 ,  構造体 ,  *微細加工 ,  穿刺吸引細胞診 ,  *医療機器 ,  針 ,  操作 ,  固体素子 ,  マイクロアクチュエータ ,  診断
準シソーラス用語： ミクロ構造 ,  マイクロ構造体 ,  *超微細加工 ,  穿刺細胞診 ,  穿刺針 ,  マイクロニードル ,  細胞操作 ,  マイクロデバイス ,  医療診断

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノ構造 ,  創成 ,  開発 ,  MEMSデバイス ,  応用