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J-GLOBAL ID:201002273755783268   整理番号:10A1452518

マイクロドリル加工での超音波振動によるキャビテーション効果

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巻: 25  号: 12  ページ: 062-063  発行年: 2010年12月01日 
JST資料番号: X0147A  ISSN: 0912-5582  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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キャビテーション付与装置は,全長166.5mmで,先端のホーン中央部にチャックとドリルを通す直径15mmの穴があいている。発振周波数は47kHzで,軸方向振動をホーン部で直交する縦振動に変換し,径方向と上下方向に共振させて加振する。ホーンとワークの隙間は5mm程度で,超音波振動を付与することで先端部に切削油がとどまる現象が生じ,液中加工となる。付加した超音波振動により穴内部でキャビテーションが発生し,その衝撃によって切りくずを排出させ良好な加工が行われる。外径0.7mmのSUS303の筒状構造物を,直径0.04mmのルーマ型超硬ドリルで回転数1560min-1,送り1μm/revで加工し,キャビテーションによる加工の方が良好な加工面が得られた。中央部と出口部のRzとRaは,超音波振動付加により約1/2に低減できた。SUS304の板材を用いた加工深さ0.5mmと0.8mmのスラスト測定で,超音波振動を付加した場合のスラストが低減した。
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