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J-GLOBAL ID：201002274557460794   整理番号：10A0463803

ECRイオン源での誘導加熱方式による高融点材料の高純度蒸発源開発

著者 (8件)： 九津見修 (大阪大 大学院) ,  加藤裕史 (大阪大 大学院) ,  北川敦志 (放医研) ,  村松正幸 (放医研) ,  内田貴司 (東洋大 工) ,  吉田善一 (東洋大 工) ,  佐藤文信 (大阪大 大学院) ,  飯田敏行 (大阪大 大学院)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 57th  ページ： ROMBUNNO.18A-ZB-3  発行年： 2010年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ECRイオン源 ,  *誘導加熱 ,  *耐熱材料 ,  *蒸発 ,  インダクタンス
準シソーラス用語： 高融点材料

分類 (1件)： 電子源,イオン源  (BD02020U)

タイトルに関連する用語 (6件)： ECRイオン源 ,  誘導加熱 ,  高融点材料 ,  高純度 ,  蒸発源 ,  開発