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J-GLOBAL ID：201002296818873513   整理番号：10A1465413

放射角制御可能なマイクロカラム用電子銃の作成と評価

Fabrication and Evaluation of Electron Gun for the Micro-Column to control a radiation angle

著者 (10件)： 藤野高弘 (静岡大 電子工研) ,  高木康男 (静岡大 電子工研) ,  小池昭史 (静岡大 電子工研) ,  長尾昌善 (産業技術総合研) ,  吉田知也 (産業技術総合研) ,  村田英一 (名城大 理工) ,  酒井健太郎 (名城大 理工) ,  根尾陽一郎 (静岡大 電子工研) ,  青木徹 (静岡大 電子工研) ,  三村秀典 (静岡大 電子工研)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 110  号： 249(ED2010 128-141)  ページ： 39-42  発行年： 2010年10月18日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究グループは電子源と電子光学系を半導体加工技術により同一基板内に作製したマイクロサイズの電子線筐筒(マイクロカラム)の実現を目標としている。更にマイクロカラムにより高精細なクロスオーバー形成が可能となれば,高密度に集積化されたマルチビームが実現可能となり,マスクレスリソグラフィーへの応用が期待される。これまでに,引き出し電極以外に4極から構成されるマイクロカラムの試作を行い,その収束特性の評価を行った。この結果,1mmの作動距離おいて40μm径のクロスオーバー形成に成功している。更なるビーム径の縮小化には,静電レンズに入射する電子ビームの開き角を狭小化し,且つ可変に制御する必要がある。上記の性能を実現する為に,新たにイマージョンレンズを導入したマイクロ電子銃を設計・作製した。これらのビーム放射角について特性評価を行い良好な結果を得たので報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *電子銃 ,  電子源 ,  半導体プロセス ,  パターン形成 ,  対物レンズ ,  電子ビーム ,  *電子ビームリソグラフィー
準シソーラス用語： *マスクレスリソグラフィー

分類 (2件)： 電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (6件)：

• http://strj-jeita.elisasp.net/strj/ITRS09/Roadmap-2009.htm
• MODY, J. 2010 IEEE Symposium on VLSI Technology. 2010, 195-196
• http://www.multibeamcorp.com/
• CHANG, T. H. P. Microelectronic Engineering. 2001, 57-58, 117-135
• 田上智也. 信学技報. 2009, 109, 230, 7-10

タイトルに関連する用語 (4件)： 放射 ,  カラム ,  電子銃 ,  評価