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J-GLOBAL ID：201102231902854144   整理番号：11A0690797

金型内蔵マイクロマルチセンサーチップとセンサーフュージョンシステムを用いた新しい塑性加工計測技術の開発

著者 (1件)： 楊明 (首都大学東京 大学院システムデザイン研究科)
資料名： 天田金属加工機械技術振興財団研究概要報告書・国際交流報告書
号： 23  ページ： 5-9  発行年： 2011年03月 
JST資料番号： J0694A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 塑性加工において,加工中の変形経路や素材と金型界面の摩擦などを正確に把握する必要がある。半導体加工技術を利用し,複数センサから構成するマイクロセンサユニットを開発し,金型内部に内蔵して加工に伴う金型の応力分布を測定し,オンラインデータから加工情報を推定する新しい計測手法を提案した。本稿では,金型内蔵センサの特性に及ぼす影響因子を明確にし,センサ構成および内蔵方法の改良について検討した。シリコンウエハ上に数百ミクロンサイズの抵抗線を複数パターニングし,半導体ゲージを製作した。数mmサイズのセンサチップを金型に埋め込み,曲げ加工時の応力分布を直接測定できた。実用化に向けて,センサ形状および内蔵のための金型加工の高精度化が必要である。

シソーラス用語： *塑性加工 ,  *金型 ,  応力測定 ,  センサ ,  応力分布 ,  計測 ,  ウエハ【IC】 ,  パターン形成 ,  *計測システム ,  オンラインシステム ,  歪計 ,  測定精度 ,  半導体ストレンゲージ
準シソーラス用語： マイクロセンサ ,  マルチセンサ ,  内蔵 ,  その場計測 ,  シリコンウエハ

分類 (1件)： 塑性加工一般  (WC04010P)

引用文献 (11件)：

• 楊 明: 塑性加工における知的センシング, 塑性と加工, 41-474,(2000)653.
• 高橋 壮治: 測圧ピンによる接触圧力の測定, 塑性と力日工, 8-83,(1987)698.
• 米山猛, 畑村洋太郎, 北側正義, 榊原孝二: 光ファイバセンサを用いた工具面圧力計の開発, 塑性と加工, 35-397,(1994)158.
• J. Jewiet, C. Nyahumwa: A sensor for measuring metal deformation interface forces, J. of Materials Processing Technology, 39,(1993)251.
• 児島 之夫, 森川 裕彦, 水野 高爾: 棒材引抜におけるダイス圧力分布の測定, 塑性と加工, 25-295,(1985)855.

タイトルに関連する用語 (5件)： 金型 ,  センサーフュージョン ,  塑性加工 ,  計測 ,  開発