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J-GLOBAL ID：201102264826299905   整理番号：11A1058709

バイポーラーPBII&Dによって作製したDLC膜の構造的および機械的特性

Structural and mechanical properties of DLC films prepared by bipolar PBII&D

著者 (5件)： CHOI Junho ,  ISHII Keisuke ,  KATO Takahisa ,  KAWAGUCHI Masahiro ,  LEE Wonsik
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 20  号： 5-6  ページ： 845-848  発行年： 2011年05月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,ダイアモンドライクカーボン(DLC)膜をバイポーラープラズマベースのイオン注入および堆積(PBII&D)により作製し,Si基板上に堆積したDLC膜の構造的および機械的特性をラマン分光により評価した。PBII&Dプロセスにおいて,正および負のパルス電圧を,それぞれ1から3kVおよび-1から-15kVまで変化させた。パルス電圧の増大と共に,ラマンGピーク位置とI(D)/I(G)比は大きくなり,Gピークの半値前幅(FWHM(G))は小さくなった。このことはDLC膜のグラファイト化を示している。低い波数域で,Gピークがより高い波数にシフトする時,FWHM(G)は大きくなり,1540cm^-1付近で最大値に達し,その後低下した。この挙動は波数の増大と共にDLC膜に構造変化が生じることに起因する。低波数域でDLCから高分子状カーボン(PLC)変態が生じ,高い波数域でDLCからグラファイト状カーボン(GLC)変態が生じた。さらに,DLCからGLCおよびPLCへの構造変化に起因した,DLC膜の機械的特性(硬度,弾性率および内部応力)とFWHM(G)との間に2つの異なる傾向が観察された。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  蒸着膜 ,  プラズマCVD ,  製膜 ,  微細構造 ,  機械的性質 ,  硬度 ,  弾性係数 ,  Raman分光法

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： バイ ,  作製 ,  DLC膜 ,  機械的特性