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文献
J-GLOBAL ID:201102285952255929   整理番号:11A0994101

地域と世界に貢献する東北大学多元物質科学研究所 軟X線多層膜光学の開発と応用-軟X線顕微鏡

著者 (5件):
資料名:
巻: 24  号: 4/5  ページ: 201-207  発行年: 2011年06月01日 
JST資料番号: L0595A  ISSN: 1344-7858  CODEN: MINTFB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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軟X線の特長を活かした解析には反射ミラーが必要であるが,これまで十分な機能を有する反射ミラーが存在しなかった。これに対して,著者等は,軟X線多層膜ミラーに着目し,高機能素子の開発とそれを応用した研究を実施してきた。本稿では,その成果の一端を紹介した。ここでは,広視野・高分解能軟X線顕微鏡の開発と生体試料への応用,精密膜厚制御多層膜形成法の開発,,軟X線多層膜ミラーの波面補正技術と干渉計測技術の開発および外乱に強い実験室顕微鏡用の新型対物ミラーについて示した。
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分類 (1件):
分類
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X線技術 

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