特許
J-GLOBAL ID：201103010405219394
超音波顕微鏡によるLSAW伝搬特性測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中尾 直樹
, 中村 幸雄
, 草野 卓
, 稲垣 稔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-065417
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258216
特許番号：特許第3898329号
出願日： 1998年03月16日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 超音波顕微鏡により、薄い試料に対して試料表面を伝搬する漏洩弾性表面波(LSAW)の伝搬特性を測定する方法において、
(a) 上記試料面上の基準点におけるLSAW速度の周波数特性を測定し、上記周波数特性から上記試料の裏面からの反射の影響によるLSAW速度変化の周波数特性を得て、
(b) 上記基準点における一定差の2つの周波数での上記LSAW速度変化の差分を換算曲線として上記2つの周波数の変化に対して求め、
(c) 上記試料面上の複数の任意の各点で上記一定差の2つの周波数でのLSAW速度をそれぞれ測定し、それらの差分値を求め、
(d) 上記換算曲線により、上記各点での差分値に対応する速度変化を見積もり、それによって上記各点で測定したLSAW速度を補正する。
IPC (2件)：
G01N 29/06 ( 200 6.01)
, G01N 29/00 ( 200 6.01)
G01N 29/20 501
, G01N 29/18
