特許
J-GLOBAL ID：201103010418811810
磁気的浮上回転処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
小川 信一
, 野口 賢照
, 斎下 和彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-257304
公開番号（公開出願番号）：特開2008-073636
特許番号：特許第4671292号
出願日： 2006年09月22日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 円環状の回転板と、該回転板の下方に配置され、該回転板を磁気浮上させるための環状に配置された超伝導体を有し、前記回転板の下面には前記超伝導体に対応して配置された浮上用永久磁石と、更に、前記回転板に設けた浮上用永久磁石の外周側に回転用の永久磁石又は強磁性鋼板と、該永久磁石又は強磁性鋼板に対応して回転磁界コイルを配置し、前記回転板の永久磁石又は強磁性鋼板と前記回転磁界コイルとによって前記回転板を非接触状態で回転駆動するように構成したことを特徴とする磁気浮上回転処理装置。
IPC (7件)：
B05C 13/02 ( 200 6.01)
, F16C 32/04 ( 200 6.01)
, G03F 1/08 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 21/306 ( 200 6.01)
B05C 13/02
, F16C 32/04 ZAA Z
, G03F 1/08 L
, H01L 21/30 569 C
, H01L 21/304 643 A
, H01L 21/68 N
, H01L 21/306 K
