特許
J-GLOBAL ID：201103024669634277
クリーンルームシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-149709
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340581
特許番号：特許第3492384号
出願日： 1992年06月09日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ワークに対して所望の加工組立作業を施す処理室と、前記処理室へのワーク供給を行うために処理室に接続された搬送路と、を有するクリーン設備であって、処理室と搬送路とが密閉されて内部がクリーンに保たれ、処理室及び搬送路の一部に開閉可能なメンテナンス窓が設けられているクリーン設備と、保守要員が乗込み可能で、密閉状態において内部がクリーンに保たれるメンテナンスビークルであって、前記クリーン設備のメンテナンス窓と対向してクリーン設備とビークルとを連通可能とする作業窓と、クリーン設備の内部とビークル内部とをメンテナンス窓および作業窓を介して密閉状態で連通させる蛇腹と、メンテナンス窓および作業窓が閉じられることによって前記蛇腹の内部の空間がクリーン設備の内部とビークル内部とから隔離されて密閉された状態において、当該蛇腹内部の空間をクリーンにする清浄装置と、を有するメンテナンスビークルと、を含むクリーンルームシステム。
IPC (3件)：
F24F 7/06
, E04H 5/02
, H01L 21/02
F24F 7/06 C
, E04H 5/02 B
, H01L 21/02 D
