全焦点反射型光学顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-266061
特許番号：特許第2963995号
出願日： 1998年09月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 P偏光した照明光を、試料を裁置した基板に対してブリュスター角を以て入射させ、その反射光を結像レンズの中央ではなく端に入れて非軸光学系にすることにより、像面に垂直な軸と顕微鏡の光軸との傾斜角度を小さくしたことを特徴とする全焦点反射型光学顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/06 , G02B 21/00 , G02B 21/36

FI (3件)：

G02B 21/06 , G02B 21/00 , G02B 21/36

引用特許：

審査官引用 (1件)

前のページに戻る