特許
J-GLOBAL ID：201103042451833373
隔膜式センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-132990
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281204
特許番号：特許第4620215号
出願日： 2000年03月28日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 センサ本体と、気液分離膜と、センサ本体と気液分離膜との間に充填された電解液と、電解液に接触する検知電極及び対極とを備える隔膜式センサにおいて、
気液分離膜が、シリコンウエハーに孔あけ加工した膜材又はアルミナを陽極酸化して多孔質化した膜材により構成され、
センサ本体が、同一平面に設けられて気液分離膜が接合される一以上の膜接合面と、膜接合面に囲まれる位置に設けられた電解液収容溝と、電解液収容溝底面から膜接合面と離間して突設され先端が膜接合面と同一平面上の近傍にまで伸張する検知電極台とを有すると共に、このセンサ本体の検知電極台の先端には検知電極が、電解液収容溝の底面には対極が各々設けられ、検知電極は、膜接合面と同一平面上よりも電解液収容溝の底面方向に位置し、気液分離膜と検知電極との位置関係が膜接合面と検知電極台の位置関係によって安定した関係に保持されるように構成されていることを特徴とする隔膜式センサ。
IPC (2件)：
G01N 27/404 ( 200 6.01)
, G01N 27/416 ( 200 6.01)
G01N 27/30 341 D
, G01N 27/46 316 Z
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (8件)
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