特許
J-GLOBAL ID：201103082969993589
コーティング被膜の形成方法及び金型・工具
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鶴若 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-075537
公開番号（公開出願番号）：特開2011-208199
出願日： 2010年03月29日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：
【課題】剥離し難く、かつ積層数に依存することなく、100N以上のスクラッチ強度を有し、積層間隔ならびに層比率を変化させることで、ヤング率、硬度などを制御でき、チッピング、部分クラックなどの欠けはほとんど生じない被膜形成方法を提供する。【解決手段】基材1の表面にダイヤモンドライクカーボン膜3をコーティングするコーティング被膜の形成方法であり、加熱しながらプレスパッタリングを行いターゲット材料の表面及び基材1の表面の汚れを除去する前処理工程Aと、ターゲット材料を用いて基材1の表面にスパッタリングによりインターレイヤーを成膜して中間層2を形成する層形成工程Bと、中間層2の表面にダイヤモンドライクカーボン膜3を成膜するコーティング工程Cとを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材の表面にダイヤモンドライクカーボン膜をコーティングするコーティング被膜の形成方法であり、
加熱しながらプレスパッタリングを行いターゲット材料の表面及び前記基材の表面の汚れを除去する前処理工程と、
前記ターゲット材料を用いて前記基材の表面にスパッタリングによりインターレイヤー成膜して中間層を形成する層形成工程と、
前記中間層の表面にダイヤモンドライクカーボン膜を成膜するコーティング工程とを有することを特徴とするコーティング被膜の形成方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C23C14/06 F
, C23C14/06 P
, B23B27/14 A
3C046FF12
, 3C046FF18
, 4K029AA02
, 4K029AA21
, 4K029BA34
, 4K029BA56
, 4K029BB02
, 4K029BC02
, 4K029BD05
, 4K029CA06
, 4K029CA13
, 4K029DC03
, 4K029DC05
, 4K029FA04
