特許
J-GLOBAL ID：201103085856683698
レーザ加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 中村 誠
, 河井 将次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-067304
公開番号（公開出願番号）：特開2002-263877
特許番号：特許第4127601号
出願日： 2001年03月09日
公開日（公表日）： 2002年09月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被加工基板の一部を選択的に除去するレーザ光を発振するレーザ発振器と、
レーザ発振器から発振されたレーザ光を、前記被加工基板の任意の位置に照射させる走査系と、
前記レーザ発振器から発振されたレーザ光を前記被加工基板に入射させる入射手段と、
前記被加工基板を回転させる基板回転機構と、
前記レーザ発振器から発振されたレーザ光の光路上に設置され、前記基板回転機構による被加工基板の回転に応じて、前記被処理基板上のレーザ光の光学像の大きさ及び形状を変更するレーザ光成形手段と、
を具備してなることを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (7件)：
B23K 26/073 ( 200 6.01)
, B23K 26/12 ( 200 6.01)
, G02B 26/08 ( 200 6.01)
, G02B 26/10 ( 200 6.01)
, G02F 1/33 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, B23K 101/40 ( 200 6.01)
B23K 26/073
, B23K 26/12
, G02B 26/08 E
, G02B 26/10 104 Z
, G02F 1/33
, G03F 7/20 505
, B23K 101:40
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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