特許
J-GLOBAL ID：201103093730177218
プラズマ発生手段、プラズマ発生装置及び元素分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
柴田 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-045967
公開番号（公開出願番号）：特開2011-180045
出願日： 2010年03月02日
公開日（公表日）： 2011年09月15日
要約：
【課題】狭小部に電界を集中させてプラズマを発生させる際に、狭小部や電極に発生する気泡を速やかに除去することのできるプラズマ発生手段、プラズマ発生装置及び元素分析方法を提供すること。【解決手段】プラズマ発生装置10では第1の連通部14a、第1の膨出部17a、狭小部16、第2の連通部14b、第2の膨出部17bからなる流路13が発光部本体12内に形成されている。狭小部16の断面積は前後の第1及び第2の膨出部17a,17bよりも著しく小さい。第1及び第2の連通部14a,14bには可撓性チューブ18が接続されておりシリンジポンプ装置21により導電性溶液は上流(第1の連通部14a側)から流路13内に流れ込んでいる。パルス電圧の印加に伴って狭小部16及び第1及び第2の電極20A,20Bに発生する気泡は下流側に導電性溶液とともに排出されることとなり、次回の印加の際の邪魔になることがない。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
絶縁性材料で形成した流路に同流路の断面積よりも著しく小さな断面積の狭小部を形成し、同狭小部を挟んだ前後をそれぞれ第1及び第2の流路とし、同第1及び第2の流路内にそれぞれ第1及び第2の電極を配置するとともに、前記第1及び第2の流路並びに狭小部に導電性溶液を満たし、前記電極間に電流を流して前記狭小部に集中的に電界を印加させることによって生ずる気泡中にプラズマを発生させるとともに、前記第1の流路から第2の流路方向に向って導電性溶液を流動させることで前記狭小部に留まる気泡を前記狭小部から排出するようにしたことを特徴とするプラズマ発生手段。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (17件)：
2G043AA01
, 2G043BA01
, 2G043CA03
, 2G043DA05
, 2G043EA06
, 2G043GA06
, 2G043GA07
, 2G043GA10
, 2G043GB01
, 2G043GB02
, 2G043GB05
, 2G043GB09
, 2G043GB11
, 2G043GB16
, 2G043HA05
, 2G043JA01
, 2G043NA01
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
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