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J-GLOBAL ID：201202221129524522   整理番号：12A1442180

多結晶鉄ガーネットスパッタ膜を用いた磁気光学イメージングの基礎検討

Fundamental study of magneto-optic imaging with polycrystalline iron garnet sputtered films for high spatial resolution non-destructive inspection

著者 (3件)： 橋本良介 (豊橋技科大) ,  高木宏幸 (豊橋技科大) ,  井上光輝 (豊橋技科大)
資料名： 電気学会マグネティックス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： MAG-12  号： 81-101  ページ： 39-42  発行年： 2012年09月24日 
JST資料番号： Z0924A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 磁気光学(MO)効果を示す磁性ガーネット膜をセンサとして利用し,欠陥の2次元像を面として取得することのできる非破壊検査法を考案した。欠陥から生じる漏洩磁界によって膜の磁気モーメントが変調され,ファラデー回転を生じ,検光子を通してCCDカメラなどにより撮影を行って欠陥のMOイメージを取得する手法である。本手法には,MO効果の大きさは磁性ガーネットの膜厚に比例し,大きなMO効果を得るためには,数μm程度の膜厚を必要であり,欠陥から離れるほど漏洩磁界が拡散し,空間分解能が低下するという問題がある。本論では,基礎検討として,多結晶磁性ガーネットの単層膜および磁性フォトニック結晶(MPC)センサを作製し,平板に対するイメージを取得した結果,大きな改善が得られたことを報告した。

シソーラス用語： 多結晶 ,  ガーネット型結晶 ,  スパッタリング ,  薄膜成長 ,  *磁場測定検査 ,  *磁気センサ ,  空間分解能
準シソーラス用語： 薄膜センサ ,  磁性フォトニック結晶 ,  二次元画像 ,  磁気光学

分類 (1件)： 非破壊試験  (HB02030F)

引用文献 (7件)：

• (1) 岩井勇五郎:「非破壊検査工学」,産報出版(1979)
• (2) A.Nishimizu,T.Matsui.M.Koike,Y.Nonaka,T.Kojima,F.Kobayashi.T. Takagi,T.UchimotO,H.Endo,M.Hashimoto,and K.Fukuoka: "Development of Eddy Current Testing System for Complicated-Shaped Components",日本原子力学会;FN文論文誌,Vol.7. No.2 p.142-151(2008)
• (3) 岩崎勝博:「磁気光学素子を利用した磁気探傷技術」,検査技術, pp.44-50(2011.10)
• (4) 佐藤勝昭:"光と磁気",朝倉書店(1988)
• (5) S.Mito, H.Sakurai, H.Takagi, A.V.Baryshev, and M.Inoue : "Polycrystalline magnetic garnet films comprising weakly coupled crystallites", JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, Vol.111, No.7 pp. 07A519 - 07A519-3 (2012)

タイトルに関連する用語 (6件)： 多結晶 ,  鉄 ,  ガーネット ,  スパッタ膜 ,  磁気光学イメージング ,  基礎