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J-GLOBAL ID：201202235839104884   整理番号：12A1486563

中性子集光用回転楕円ミラーの作製 第IV報-小径球面パッドを用いた形状修正研磨における体積加工速度の安定化-

著者 (8件)： 山崎健太 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  永野幹典 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  光嶋直樹 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  丸山龍治 (日本原子力開発機構 J-PARCセ) ,  林田洋寿 (日本原子力開発機構 J-PARCセ) ,  山崎大 (日本原子力開発機構 J-PARCセ) ,  曽山和彦 (日本原子力開発機構 J-PARCセ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F07  発行年： 2012年09月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大きな発散角を有する中性子ビームを大強度かつ高効率に試料へと集光するため,多重回転体非球面スーパーミラーの開発が求められている。我々は,高精度な自立型回転体スーパーミラーを作製するため母型に石英基盤を用いたレプリカ法を提案している。本研究では,加工中の体積加工速度変動の原因の一つであるパッドの劣化を調査した。その結果から最適な球面パッドを選定することで,加工中の体積加工速度変動の抑制を試みた。(著者抄録)

シソーラス用語： 反射鏡 ,  楕円面鏡 ,  *非球面鏡 ,  Bragg反射 ,  中性子ビーム ,  集光器 ,  回転物体 ,  *鏡面仕上 ,  *レプリカ法 ,  *母型 ,  基板
準シソーラス用語： 回転体 ,  石英基板

分類 (2件)： その他の光学機器  (QF05060C) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (13件)： 中性子 ,  集光 ,  楕円 ,  ミラー ,  作製 ,  小径 ,  球面 ,  パッド ,  形状修正 ,  研磨 ,  体積 ,  加工速度 ,  安定化