抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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最近の分子生物学や半導体露光技術の発展から200nm以下の構造に対する関心が高く,全ての超解像度顕微鏡開発の動機になっている。本稿では,先行するZP型と反射結像型の2つの光学系の特徴を比較したのち,開発した反射結像型の現状と生物観察応用への試みを紹介する。反射結像型の一種であるSO光学系を用いて,透過型の反射多層膜鏡X線顕微鏡(TXM
3)を開発した。波長1.06μmのパルスNd:YAGレーザを金属ターゲットに照射した際に生じるプラズマから発生する軟X線を光源とし,2枚の凹面鏡からなる照射光学系を用いて試料位置へ集める。薄膜試料を透過しコントラストの付いた軟X線は50倍でNA=0.25のSO光学系によりCCD素子面に拡大・結像される。空間分解能は130nmであった。固定・染色したマウスの大脳皮質により性能を評価したところ,250μm角という広い視野で電子顕微鏡では観察の難しい500nmの厚さの試料をパルスレーザー10ショット分の露光時間(1秒)で撮像できた。