文献

J-GLOBAL ID：201202259984818140   整理番号：12A0597915

中性子集光用回転楕円ミラーの作製 第III報-小径パッドを用いた回転体石英マンドレルの形状修正と表面仕上げ-

著者 (8件)： 山崎健太 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  永野幹典 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山家史也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  丸山龍治 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  林田洋寿 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  山崎大 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  曽山和彦 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.O32  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大きな発散角を有する中性子ビームを大強度かつ高効率に試料へと集光するため,多重回転体スーパーミラーの開発が求められている。我々は,高精度な自立型回転体スーパーミラーを作製するため母型に石英基盤を用いたレプリカ法を提案している。本研究では,球面パッドを用いた修正研磨による形状創成と平面パッドを用いた低圧研磨による表面粗さ改善を組み合わせた高精度回転体石英マンドレルの作製プロセスについて述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： 中性子 ,  集光 ,  楕円 ,  *反射鏡 ,  回転物体 ,  *マンドレル ,  石英 ,  切削工具 ,  *修正 ,  形態 ,  *表面仕上
準シソーラス用語： *スーパーミラー ,  研磨パッド ,  *形状修正

分類 (1件)： その他の光学機器  (QF05060C)

タイトルに関連する用語 (12件)： 中性子 ,  集光 ,  楕円 ,  ミラー ,  作製 ,  小径 ,  パッド ,  回転体 ,  石英 ,  マンドレル ,  形状修正 ,  表面仕上げ