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文献
J-GLOBAL ID:201202263537663829   整理番号:12A0597914

多重配置した中性子集光用楕円面スーパーミラーデバイスの開発-4枚の1mm厚ミラー基板のアライメント機構-

著者 (7件):
資料名:
巻: 2012  号: 春季(CD-ROM)  ページ: ROMBUNNO.O31  発行年: 2012年03月01日 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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中性子の集光ゲイン増大のために非球面スーパーミラーを多重化する場合,吸収損失を抑制するには1mm程度の基板厚さが要求される。我々はNC-LWEによる形状創成とイオンビームスパッタによる多層膜成膜を組み合わせることで,サブミクロンレベルの形状精度を有した薄型楕円面スーパーミラーの作製に成功している。本報では,作製した4枚の1mm厚さのミラー基板をミクロンレベルで配置するためのアライメント機構について報告する。(著者抄録)
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分類 (1件):
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その他の光学機器 

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